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准分子激光气体应用

准分子激光气体(Excimer Laser Gas Mixtures)包括AF(193nm)，准分子预混气供应，KrF(248nm)，XeCl (308nm)预混气体，主要应用于眼科医1疗、光纤、半导体、材料科学、电子、平板等领域。作为当今1有效，1可靠的脉冲紫外激光技术的代表，准分子激光器有效的推进了诸如半导体，AMOLED平板显示，呼和浩特准分子预混气，薄膜，硅底板加工、有机金属沉淀、高温超导、刻蚀、材料研究、汽车制造、生物医1疗、光纤、钻石达标设备及可替代能源等多种成长型工业中的技术更新。

注意事项:准分子激光气体为高压充装气体，使用时应经减压降1压后方可使用。包装的气瓶上均有使用的年限，凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验，方能继续使用。每瓶气体在使用到尾气时，准分子预混气供应商，应保留瓶内余压在0.5MPa，较小不得低于0.25MPa余压，准分子预混气公司，应将瓶阀关闭，以保证气体质量和使用安全。瓶装气体产品在运输储存、使用时都应分类堆放，严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起，不准靠近明火和热源，应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁在气瓶身上进行引弧或电弧，严禁野蛮装卸。

准分子激光由Nikolai Basov， V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所发明。使用电子束激发氙气二聚体，产生的准分子激光波长为172nm。

1975年包括美国政府的海1军研究实验室、诺思罗普研究和技术中心，Avco Everett研究实验室，和美国桑迪亚国家实验室在内的多家政府研究机构研究利用电子束激发惰性气体卤化物。

1979年西德Lambda Physik公司生产出第1台商业用准分子激光器。

迄今为止已经发现的能够产生准分子激光的气体有10多种。

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